穿越2018从造光刻机开始

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第46章 攻克镜片(三)

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2018年11月11日,双11,也被网络戏称为光棍节。

华国东北,长春光机所整个区域内有全副武装的战士把守,而周边更有许多的国安便衣人员,观察着来往路过的行人,他们并不清楚研究所内具体的事情,只知道是一项重大的科研实验。

下午2点,一块直径长达1米的镜片送入加工线,物理打磨,机械抛光这些简单的步骤后,开始进入使用微观级别的抛光工艺离子束抛光,前两天就是在这部出现了问题。

在场众人不由紧张起来,氛围也随之变得更加低沉,空气中的温度似乎开始上升。

柴文政与丁冉换上衣服,来到净室,控制23所自研的离子束抛光装置。

这种抛光方式为非接触型,没有传统机械工具的接触导致损伤后果,离子溅射可以有效处理微观尺度上的粒子碰撞,从而达到抛光效果,这种抛光技术,其实相当于在物体原子层面进行雕刻修饰,难度可想而已。

通过离子轰击,反冲效应会移除表面低谷中结合能最低的粒子,通过建立多层膜,降低晶粒扩散时的反射率,从而打造最小的粗糙度,离子束溅射能够沉积致密薄膜,从而可以一层层地给镜片镀上多层膜,蔡司的镜片加工工艺,这种多层膜数量高达40层。

这套装置也是二人根据资料结合改进过的,要想把资料中提到那种抛光装置做出来,得从头做起,时间上来不及,同时还极有可涉及蔡司的专利问题。

白色的防尘服包裹着两位教授,只见二人一人在显示屏上细致的观察变化,另一人根据提示调整装置上的参数,在做好所有准备工作后,柴文政深吸口气,启动了离子束抛光装置,接下来便不需要人工参与了。

两人一动不动盯着显示屏,这种微观级别的变化,肉眼是无法观察到的,哪怕是他们面前的显示器,也只是观察过程中的各项数据是否正常而已。

路阳并未进入净室,这次临时设计的生产线,有70%使用的都是资料中的技术,并非完全自主的国产技术。

跟上次一样,提示错误的时候他也只是在室外观察而已,目前系统没有提示,说明两位教授的方向应该是正确的。

随着时间的流逝,现场越来越安静,众人屏息以待。

柴文政与丁冉换完衣服,来到工作间,白学礼焦急的问道:

“这次怎么样?”

丁冉取下口罩,脸上露出笑容,“一切顺利,各项数值都非常正常,操作流程上也没有任何失误,我有种预感,这次应该成了!”

“我俩心有灵犀啊,丁冉!”柴文政脸上的汗都还未擦干,笑着说道,“接下来就是等待了,最少需要72小时。”

(据传蔡司所制作的光刻机反射镜面,耗时需要半年,为了顺利推进,把时间改成72小时,大家知道难度就行。)

三天后,净室内的柴文政与丁冉两人小心翼翼地使用工具从装置中取出镜片,放入检测设备中,等待最后的结果到来。

镜面光滑的检测耗时不长,更多的时间是检验镀膜层数,10多分钟后。

柴文政激动的说道:“廖老,各位同事,我们成了,光滑度0.1纳米,镀膜层数32层!”

丁冉补充说道:“我们以前在所里虽然也达到过这次数据,但不是固定的加工线,直径也远小于现在的1米,镀膜层数最多也只到过26层。”

所有人欢呼起来,终于可以大声说话了,持续几小时的安静,呼吸都不敢大口吸气。

廖老握紧拳头,脸上表情却无太大变化,“同志们,这是最近这半个月大家努力的成果,但现在我们只能算是抄作业及格,距离最终的成功还有很长的路要走,以目前的情况来看,我们的加工线设计思路正确,接下来便是0.02纳米的光滑度。”

家有一老,如有一宝,古人的话诚不欺我,路阳觉得自己还有很长的路要走,跟廖老仍需学习的地方还很多。

有了一次成功的经验,这次23所两位教授的操作非常熟练,0.02纳米的光滑度镜片制造耗时更长,需要1周时间,工艺流程倒是没太大变化,只是在设置上,参数精度更高,且加工线的化境要求不能有变化,停电之类的更是不允许。

柴文政跟丁冉带着助手,两人轮流值班,光机所这边也在全力保障内外部环境稳定,小组其他人已转至申城微电子,全力加快那边的进度。

晚上三人小组周会,路阳有点心神不宁,

“周哥,不知为何,我这两天有种不好的预感,眼皮跳得厉害!”

季一楠关心的问道:“路阳,是不是休息不好,你上次说的头痛问题这两天还犯没?下次回申城再去做次深入体检。”

周怀义对路阳的话一向重视,“会是哪方面出现问题?我跟一楠这边倒是各方面进展顺利。”

“我也不太清楚,也许是明天光机所这边要镜片要出结果的原因吧。”

周怀义大致介绍了下最近的情况:

1.苏硅这边的8寸硅片生产线20条已全部投入使用,12寸硅片已经建好10条,明年2月底估计能全部完工。

2.中芯那边代工的汽车芯片已开始交付。

3.大连光源这边20Kw的光源稳定性获得极大提升,目前在全力攻克30Kw的光源,预计耗时1个月时间。

4.华芯九天的光掩膜生产线已开始建设,并且刘永锐还把光刻胶,特种气体等国内落后的辅助材料都纳入进去,又多花了5亿。

5.华芯科技那边的90纳米dUV光刻机生产线24小时开工,有望在春节前完成第一条生产线的试产。

6.荣华投资这边按需求目录,全世界购买原材料囤积,所耗费的资金规模接近50亿。

……

最后还是季一楠一句:“路阳啊,我们又没钱了,我跑的那200亿差不多花完了,苏硅的那边的钱也调用了部分。”

路阳苦笑:“你不是不管财务了吗?”

“是啊,我现在负责华国半导体联盟改制工作,华芯现在已经成了理事长单位,我打算在合作的高校中直接开设半导体相关专业,大三毕业电子技术方面的学生都可以直接报名。”

“不错,不错,一楠这下抓住重点了,猎头那边也要多合作,只要是愿意到华芯的,钱不是问题。”

“问题是我们没钱啊!”

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